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微影技術演進
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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
因為他,193奈米浸潤式微影方式問世,改寫全世界半導體微影藍圖;. 因為他,產業界花在前一代技術將近10億美元後停止繼續失血。 他是台積電奈米影像技術研究發展副總 ...
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