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在光學成像過程利用效能導向樣本為基底之佈局建構 ...

而隨著製程的演進到了奈米時代，線寬(Wire width)越來越小。當. 線寬尺寸開始小於曝光源的波長時， ... 而在各種微影技術當中，其中又以光學微影術是目前晶圓製程中的.

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