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微影技術的極限與超微結構物製程之探討

本文將報導微影製程之種類、演進與. 特徵,並首重解析度極限(Resolution Limit)與. 直接電子束微影製造納米結構物之探討。 二、傳統微影技術. 使用可見光或紫外線(Ultra- ...

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