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微影技術

EUV微影前進7nm製程，5nm仍存在挑戰EUV微影技術將在未來幾年內導入10奈米(nm)和7nm製程 ... 由於微影製程是決定製程線寬的關鍵步驟，可說是產品世代演進的靈魂技術。

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