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微影技術應用
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摩爾定律的下一步:半導體製造技術的變革新趨勢 - 碳素
新應用對IC製造技術的影響. 隨著7奈米之後的解決方案討論開始浮上檯面,EUV微影技術等設備將加速2019年之後先進製程的量產。EUV微影技術的實用化,需 ...
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