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微影技術應用
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電子束微影— Google 藝術與文化
電子束微影指使用電子束在表面上製造圖樣的製程,是微影技術的延伸應用。 微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短,微影能夠達到的精度越高 ...
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