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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

液體中曝光微影的原理早在1980年以前即被應用，只是當時的應用範圍主要是在光學檢測方面，如光學顯微鏡及光譜儀等。相較於傳統光學量測系統，以液體取代空氣作為背景介質， ...

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