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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 能源資訊平台

然而隨著摩爾定律逐漸走到物理極限，傳統技術已無法繼續微縮晶片，此時極紫外光(EUV)微影機就在眾多技術下突破重圍並且克服諸多困難被開發出來，繼續引領半導體產業邁入下 ...

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