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摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機 - 電子時報

微影 機顧名思義就是在矽基板上，能夠雕刻出多細的線寬，而這多細的線寬取決於微影機中所使用光源的波長，以及光學系統的設計。光源的波長越短，所雕出來的 ...

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