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微影技術介紹
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全球半導體微影設備大廠荷商ASML 「EUV全球技術培訓中心 ...
2010年ASML提供第一台EUV微影設備原型機給台積電進行研發工作,為全球微影技術開創新紀元;2017年ASML 交付第一台量產型EUV微影系統給台積電,寫下商用EUV ...
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