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微影技術介紹
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日企鎧俠半導體研發出納米壓印微影技術,或將取代EUV光刻機
在介紹蝕刻機之前,我們先來了解下晶片製造的設計製造大概流程。晶片,本質上是一片載有集成電路的半導體元件。
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