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1. 何謂EUV 微影？ | 蘋果健康咬一口

duv euv - EUV（極紫外線，ExtremeUltraviolet略稱）微影，是使用通稱極紫外線之極短波（13.5nm）光線的微影技術，能夠加工至既有ArF準分子雷射光微影技術不易達到之20 ...

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