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微影技術介紹
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奈米轉印成形技術前言
寫微影技術生產率(throughput)低之缺點,且其設備成本也較光學步進機來得低,. 而成為開發奈米元件的利器。 奈米轉印技術介紹. 其係利用印刷術的壓印概念,將一具有奈 ...
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