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製程微縮，下世代微影技術朝向互補式發展 - IEK產業情報網

一、全球半導體製程技術發展 · 二、下世代微影製程技術，延伸193i、投資EUV、眺望E-beam; (一)不斷進化升級以克服晶片製造瓶頸的浸潤式微影技術，但經濟效益低; (二)眾所 ...

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