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讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來

微影 製程（以22 奈米製程為例）是需要將電路微縮成非. 常小的圖案（如圖三）[6]，並投影於光阻上（關於光阻. 的部份本文後續會介紹），若以人類頭髮直徑（50,000 奈.

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