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極紫外光微影光罩檢測技術 - 機械工業網

摘要：此篇文章對於極紫外光(EUV)微影技術所須之具多層反射膜結構之光罩，其製造過程中需要之檢測技術之發展現況做一簡介，並提出一些展望。

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