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微影製程再進化！複雜電路的祕密 - 科技大觀園

一定會有一點對不準，光罩數量愈多，對不準的問題就愈嚴重，方劭云說：「多圖案微影做到四個光罩就已經很不準了。」 方劭云的另一項主要研究「自對準多圖案微影」（Self- ...

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