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2008 產業綠色技術研討會論文集

生在尾氣排放後，如圖3 所示經由空調進氣口引入潔淨室內的近距離且高. 污染問題，形成AMC 污染而影響產品良率的機會也會隨之升高。 圖2 Fume Re-entry 效應[3].

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