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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學

將鰭型線寬曝光至奈米鰭/奈米牆，但若只是單純使用一般黃光微影製程的. 極限，是無法將線寬曝至奈米 ... 兩次微影和兩次蝕刻來形成定義Fin MESA，如圖2-2，之後再用同.

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