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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

晶片效能和降低製造成本，半導體製程世代(technology node)從1999 年180 奈米. 進步到2007 年的65 奈米線寬43。依據ITRS 2005 的定義，如下圖14，線寬主要.

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