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EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術

採5 奈米EUV 製程，迎戰台積電」、「台積電掃貨EUV 光刻機，三星為什麼 ... 不斷在微縮，到了近幾年10奈米以下的製程，就需要使用EUV來當作光的來源。

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