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制造工程与技术原理 - 第 450 頁 - Google 圖書結果

... 模板图形转移到晶片表面上。掩模版本身也由光刻生成,按照电子器件参数所要求的几何形状和尺寸,首先由图形发生器产生掩模图形,进而制备到掩模材料上,成为掩模版。光学光 ...

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