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工業精密量測- 討論平行度在實際測量上會遇到的困難之處

2a, 一般評估樣品上方和底部平面之平行度，在2.5次元光學設備下，在分別確認樣品上方表面(平面1)和底部平面(平面2)的平坦度都很好的前提下，可能假設樣品放置的載台平面之 ...

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