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電子元件與模組製造之精密自動化 - Unice EO

±0.5 µm；平面度達+1.25 µm） ... 定位解析度高(1 nm)、線性度高，採用直接量測之電容式位移計 ... 可確保工具和零件表面之間的位移一致。這樣，在.

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