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薄膜厚度量測網路速度2023 - delilalla.online

光學膜厚量測方法各有擅長的領域一般而言橢圓偏光法較擅長量測超薄膜(約10nm)以下， ... 量”，即测定晶圆制造过程中薄膜厚度、膜应力、掺杂浓度、关键尺寸、套刻精度等 ...

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