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平行度量測手法
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工業精密量測- 討論平行度在實際測量上會遇到的困難之處
對於兩平面之平行度計算上,我們採用某客戶端進行樣品上方和底部兩面之平行度測量上的問題進行討論(圖2),此客戶端將樣品放置於置具上(載台平面) (圖2a),為了測量上下兩 ...
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