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設備名稱製造序號

平坦度. 左右受台邊緣高低差. 工作台Y軸與受台間距面之平行度 ... 單位:m. 實測值確認結果. 檢驗及確認方法. 備考. |Ring Table 由中央左右均分,依觸控面板上移動量 ...

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