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以氮化鋁作為MIS電容介電層之電性分析探討

實驗結果發現AlN/HRS結構之MIS電容器其大部分的調變性在高頻部分是來自於1. ... 平帶電壓產生偏移，使得C-V圖顯現出製程相關的結果，並反應在不同頻率下的電容值，同時 ...

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