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高靈敏度掃描電容顯微術之發展與應用

由圖中的結果已可清楚看出表面平. 坦度對微分電容圖譜的影響，平帶電壓位移愈大表. 示在重複掃描時所產生的訊號偏差也愈大，這也意. 味著表面平坦度不佳將導致量測再現 ...

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