本論文製作兩種金氧半電容元件,基板使用4H-SiC,氧化層使用ZrO2和Y2O3為閘極氧化 ... 時,漏電流密度都是10-7A/cm2,至於C-V量測方面,在兩種薄膜的電容情況,平帶 ...
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