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具熱穩定性之HfO2 及ZrO2 系列閘極氧化膜之研發與界面鑑定

極結構之電容-電壓曲線量測結果，經過計算後得到此結構的等效氧化層厚度 ... 的平帶電壓以及固定氧化層電荷作有系統的探討，其結果顯示初鍍的ZrO2/SiOx 堆疊閘.

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