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在器件表面上形成薄平坦层的组合cmp腐蚀法 - Google

一种在器件表面上形成薄平坦层的组合CMP－腐蚀法,包括以下步骤:提供包括多个表面突起的基片,所述突起间限定有间隙;在所述基片上形成可蚀层;对所述可蚀层进行CMP工艺, ...

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