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Reflexion® LK CMP | Applied Materials

應用材料Reflexion LK 化學機械平坦化系統提供經生產驗證、高效能的平坦化解決方案，可供淺溝隔離層、氧化層、多晶矽以及鎢等應用。其高速平坦化機台和多區域研磨頭在 ...

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