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干涉儀系統的運作方式？ - Renishaw

使用反射鏡確保來自參考與量測臂的光束，在干涉儀中相互重新結合時維持平行。 ... RLE 系統為獨特先進零差雷射干涉儀系統，專為位置回饋應用所設計。

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