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布拉格定律計算
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Extreme ultraviolet - 極紫外光源 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:直寫式極紫外光微影;布拉格反射;快門陣列 ... 波長13.5奈米的極紫外製程已成為半導體產業延續摩爾定律成長動能的關鍵,而依賴半導體製造業殊深的台灣卻極度 ...
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