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巢狀結構
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https://ndltd.ncl.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi/login?o=dnclcdr&s=id=%22103NUUM0489004%22.&searchmode=basic
應用於梳狀靜電致動器之巢狀懸浮折疊樑
本論文針對致動器的結構設計出新型巢狀懸浮折疊樑,此結構具有低橫向(kx)和高縱向(ky)彈簧常數,且成功應用於梳狀靜電驅動致動器上。在新的設計中,每兩個柔性樑和兩個 ...
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