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探讨碲镉汞红外探测器工艺中注入温度的影响

如图1(a)所示，将温度试纸贴在芯片上，表征离子注入过程中芯片表面的实际温度。采用半导体参数测试仪采集器件的I-V特性曲线。 如图1(b)所示，采用液相外延 ...

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