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半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力特性與 ...

熱傳 (heat transfer) 及質傳(mass transfer) 等因素決 ... 4. 磊晶反應器操作條件之考量. 一般氣相磊晶之(基板) 溫度約在500－1500 ... 合式反應器三大類。

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