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電漿蝕刻

電漿 蝕刻等離子體蝕刻涉及對選定的氣體混合物進行射頻激勵，以產生具有正確反應性 ... 2.3 電漿蝕刻原理室溫下氮化鎵化學性質穩定且大部分不溶於一般蝕刻液，因此乾式 ...

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