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連續式-物理氣相沉積系統(In- Line Physical Vapor Deposition)

設備原理： 連續式物理氣相沉積系統裝配三支六吋靶槍，並使用一支六吋直流 ... 可改變電漿之離子化程度，進而對薄膜微結構、晶相與相關性質產生影響。

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