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利用射頻磁控濺鍍法於聚亞醯胺/三氧化二鋁混成

1.5 文獻回顧. 1.5.1 電漿(Plasma)原理. 廣義上，電漿定義為一帶電荷之氣體分子，其正電荷和負電荷總. 數約略相等，整體電荷成電中性。當施加一高壓電場於真空低壓系統.

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