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電漿原理介紹

電感偶合式電漿在低輸入功率(低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間高電位差 ... 圖一、離子與電漿我們以氬氣為例說明氣體發光的原理：氬原子的原子核帶電 ...

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