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cvd 原理– 第一性原理 - Smileade

沉積原理Parylene采用化學氣相沉積工藝（CVD）。 ... CVD 反應室電漿的直流偏壓Vp = 10 −20 V 射頻熱電極接地電壓暗區或鞘層區域11 21 非對稱電極系統的電漿電位V2 A2 ...

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