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射頻電漿原理
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直流與射頻功率濺鍍AZO薄膜及AZO霧化計畫 - SlidePlayer
9 大綱 真空技術原理 真空系統 真空量測與真空計 真空材料與零組件 真空測漏 ... 目前半導體主要製程設備如離子佈植、爐管、薄膜濺鍍、電漿蝕刻等皆須使用真空系統。
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