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以化學氣相沉積法製備之二氧化鈦光催化活性研究(2/2)

本研究係以電漿激發化學氣相沉積(PECVD) 法，利用氮氣輸送 ... 括基板溫度、氧氣流量、退火溫度及電漿射頻功率，經由X 光粉末 ... 2-3 電漿輔助化學氣相沉積原理…

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