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「蝕刻偏壓」懶人包資訊整理 (1) | 蘋果健康咬一口

射頻 功率控制 ... ,圖一300毫米高密度電漿蝕刻系統. 耦合電漿功率：13.56 MHz, ... 本章我們將介紹氮化鎵之基本材料性質、閘極掘入工作原理與電漿蝕刻基. 本原理。

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