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電漿源原理與應用之介紹 - Scribd

題。以半導體製程而言，則以射頻放電被採用的最多。 功能及效果。在環保方面,電漿火炬可以安全固化焚化爐所產生之高污染灰渣。甚至在醫療上現已有商用之本文將簡介數種電漿 ...

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