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研究機構能源科技專案106 年度執行報告

表14、 40.68MHz 射頻電漿系統製程參數需求(功率100~500W) ....... 39 ... 冷凍泵(Cryo Pump)的操作原理是將一表面的溫度降到極低溫，甚至可以.

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