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電漿電子密度與射頻峰值電壓回授控制電漿蝕刻製程之研究

詳目顯示 ; 中文 · 85 · 電漿蝕刻、回授控制、電漿電子密度、模糊控制器 · plasma etching、feedback control、plasma electron density、fuzzy logic controller · 推薦:0; 點 ...

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