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自我補償式蘭牟爾探針之製作與量測 - 龍華科技大學

電漿參數再藉由自製的Langmuir Probe來量測電漿中之電流電壓特性曲線，一般而言由於. 探針在射頻電漿（RF plasma）系統中量測時，會受到射頻的干擾影響，而導致電流 ...

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